真空法检测工艺概述
一、真空法工艺中的喷吹技术
在真空环境下，我们采用喷吹法进行泄漏检测。将被检测件进行抽真空处理，随后使用氦气喷枪对外部可疑漏点进行自下而上的喷吹。这一过程通过氦质谱仪来检测渗入的氦气。喷吹法的特点在于其精准定位微小漏点的能力，同时氦气的消耗量相对较少，尤其适用于中小型设备的检测。操作时，喷枪的距离和扫描速率都有严格的要求，以确保检测结果的准确性。
二、真空法中的氦罩技术
另一种真空法工艺是真空氦罩法。在此方法中，被检件被置于真空罩内并充入氦气，然后通过检测进入被检件的氦总量来进行评估。这种方法的主要优点在于可以量化总泄漏量，但无法精确定位漏点，适用于密闭容器的总漏率测试。
正压法工艺简介
一、正压法中的嗅探与蓄压技术
正压法主要包括嗅探法和蓄压法。嗅探法适用于复杂形状或无法抽真空的部件，通过向被检件内部充入高压氦气，然后使用吸枪在外部扫描逸出的氦气来进行检测。蓄压法则是在加压状态下，通过氦气的积累提升小泄漏的检测灵敏度。
二、背压法及其他特殊方法
背压法是将被检件浸入高压氦气环境中加压，然后取出并抽真空以检测内部渗入的氦气。这种方法灵敏度高，尤其适用于电子元件等小型密封产品的批量检测。它并不适用于大型容器，通常需要结合粗检来排除大漏的干扰。
除了上述方法，还有一些特殊的应用方式，如吸盘法、钟罩法和轰炸法。吸盘法主要针对无法整体抽真空的大型容器，通过局部抽真空后喷洒氦气进行检测。钟罩法则适用于需要极高灵敏度的场合，如精密元件或航天设备的检测。轰炸法则主要用于验证真空或充气密闭容器的密封性。
方法选择依据
在选择使用哪种检测方式时，我们需要综合考虑被检对象的结构、压力条件以及检测目标（定位或定量）。例如，对于电子设备外壳和焊缝的检测，可能需要精确的定位方法如喷吹法和嗅探法；对于气密性容器的验收测试，可能需要总量测量如真空氦罩法和蓄压法；对于高压或大体积容器，可能需要使用蓄压法、内部加压法和吸盘法；对于需要极高灵敏度的场合，则可能选择背压法或钟罩法。每一种方法都有其特定的应用场景和优势，因此灵活选择适合的方法至关重要。
